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소개

Introduction

실험환경 장비명 제작사(모델명) 장비사진
증착 및
에칭
플라즈마가속화학기상 증착기 (PE-CVD) 에스엔텍 (SCS-5000)
저압화학증착기 (LP-CVD System) 에스엔텍 (LCS-5000)
DC/RF 스퍼터 시스템 에스엔텍 (RSP-5004)
DC/RF Sputtering SYSTEM 에스엔텍 (MSP-5002)
열/전자빔 증착기 시스템 (Thermal/Electron Beam Evaporator) 에스엔텍 (MEP-5000)
펄스레이저증착시스템 코리아바큠테크 (KVP-2000)
고주파플라즈마반응성이온식각장치 (ICP-RIE System) 에스엔텍 (IPS-5000)
급속열처리장치 (Rapid Thermal Annealing) 에스엔텍 (RTP-5000)
다기능플라즈마처리시스템 (Advanced Plasma System) 에스엔텍 (ARS-5000)
ICP-MS    
MOCVD  
Atomic Layer Deposition System 아이이에스 (SAVER-IMP)
인쇄전자 Rench Top R2R System 아이이에스 (SAVER-IMP)
Inkjet Circuit Printer Dimatix (DMP-2831)
ELECTROSPRAY 나노엔씨 (ESR200R2D)
  마이크로웨이브합성장치 영인과학 (927060)
튜브형전기로 대흥과학 (DTF-60300-12PTFS)
압력용기 4대 일신오토클레이브 (150ml Pressure Vessel)
MINI VESSEL (High Pressure High Temperature Vessel) 일신오토클레이브 (BOLT CLOSURE TYPE)
프리츠유성형볼밀 태명과학 (PULVERISETTE6외)
나노분산기 (NANO DISPERSER) 일신오토클레이브 (ISA-N-30A)
분석용저울 (XP Analytical Balances) BK테크놀리지 (XP105DR)
초순수제조장치 (D.I. Water Purification) 영화과학
DISPENSER (나노분산기) 아이넥서스 (730700외)
오토클레이브 일신오토클레이브 (ISA-OAC-SS-300-20)
HEATING MANTLE 동서과학 (MS-DMS634)
Lithography 마스크리스패터닝시스템 Nano Sys. Solutions (D-LIGHT DL-1000)
UV CROSSLINKER 프로타젠 (BLX365)
마스크얼라이너 마이다스시스템 (MDA-60MS)
Ashing System 에스엔텍
수조후드 (Water Sink Hood) 삼흥기계공사 (CT-FH1800)
광학현미경    
측정 주사전자현미경 (Mini-SEM) 코셈 (CX-200TA외)
자동표면적 및 가공분석기 (BET) 한국에이티아이 (AUTOSORB-IQ-MP)
전기화학분석시스템 에이티프론티어 (VMC-4)
PH/ORP 측정기 동서과학 (CYBERSCAN PH1500)
ALPHA-STEP KLA TEC (D-100)
Picoammeter  
NanoVoltmeter  
시편처리 이구자동연마기 (Twin Auto Polisher) R&B
시편제작용절단기 (DIAMOND SAW)
Glass scriber    
MUFFLE FURNACE 대흥과학 (DF-5)
Vacuum Oven 대흥과학 (DVO-64-N)
아날로그초음파세척기 대한이화학 (WUC-A03H)
정밀항온수조 대한이화학 (WB-22)
Drying Oven 세종플러스 (125L)
원심분리기 비전랩사이언스 (MEGA17R)
글로브박스 고려기연 (KK-021-AS)
대기압플라즈마발생장치 펨토사이언스 (PLAMI-ALPHA)
Ultrasonic Cleaner 대일테크
액상화학작업대 (WET STATION) 씨엔에스엔지니어링 (CSWT-M61)
수조후드 (Water Sink Hood) 삼흥기계공사 (CT-FH1800)
Hot Plate & Stirrer 4대 동서과학 (MSH-30D)
PELCO VACUUM PICK-UP SYSTEM 프로타젠 (5201220)
VACUUM DESSICATOR 프로타젠 (DC1030210)
Die Bonder    
Wire Bonder